用于光子器件特性分析的可多重配置光學(xué)探針。
LWP 系列光波探針實(shí)現(xiàn)了晶圓上和混合光子器件的光學(xué)測(cè)量。它具有可由用戶更換的光纖尾纖，從而使探針能夠根據(jù)多種光傳輸和光收集應(yīng)用進(jìn)行優(yōu)化，包括上部照明發(fā)光二極管、垂直腔面發(fā)射激光器 (VCSEL)、混合發(fā)送器和接收器、以及 LED 的特性分析。
