產品簡介
對于幾乎所有的器件類型和半導體技術, DC參數(shù)測量貫穿于半導體產品開發(fā)和生產的每個階段。精確且可重復的直流參數(shù)測量(IV,CV,脈沖和高功率)可降低不確定性。
測試完整性面臨各方面的威脅
大量因素可能會破壞直流電性測試。由于外部環(huán)境的影響,電噪聲可能出現(xiàn)在數(shù)據(jù)中 - 例如,來自蜂窩網絡,無線電/電視塔和附近電子設備的電磁干擾和射頻干擾,以及溫度和振動等物理因素。
測試系統(tǒng)內部的因素也會影響結果 - 例如,設計不良的信號路徑產生的漏電流,電阻或熱電壓偏移,材料能量存儲以及來自于基本的探針臺系統(tǒng)組件的電噪聲,如電源,平臺電機,溫控系統(tǒng)和電腦。
如果管理不當,這些因素會導致數(shù)據(jù)偏移和整個樣本集的統(tǒng)計分布增加,從而嚴重降低電性能。糟糕的數(shù)據(jù)是昂貴的 - 重新測試的時間,額外的建模周期,延遲的產品發(fā)布以及性能不佳的產品。
產品特性
同軸電纜–直流參數(shù)測試,低至pA級別
可移動壓板,高度調節(jié)為40 mm,接觸/分離行程為200μm,重復精度為±1μm
卡盤載物臺具有可調節(jié)的摩擦力和載物臺鎖,獨特的Z卡盤調節(jié)和90毫米拉出
電磁定位器具有1μm的功能分辨率和3個帶有精密滾珠軸承的線性軸
產品手冊 下載