WAT測(cè)試系統(tǒng)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

WAT測(cè)試系統(tǒng)，即晶圓允收測(cè)試（Wafer Acceptance Test），是半導(dǎo)體晶圓在完成所有制程工藝后，針對(duì)晶圓上的電路結(jié)構(gòu)進(jìn)行電性能測(cè)試。

通過對(duì)WAT數(shù)據(jù)的分析，我們可以發(fā)現(xiàn)半導(dǎo)體制程工藝中的問題，幫助制程工藝進(jìn)行調(diào)整。

典型配置

• 4200A-SCS 參數(shù)分析儀

• SMU 2600B 系列 SourceMeter

• 探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)

產(chǎn)品應(yīng)用

• 高阻抗應(yīng)用的 C-V 測(cè)量

• VCSEL 測(cè)試

• 納米級(jí)設(shè)備檢定

• 材料電阻率

• MOSFET 檢定

• 激光二極管 (VCSEL) 生產(chǎn)測(cè)試

• LED 簡(jiǎn)化的 I/V 檢定

• IDDQ 測(cè)試與待機(jī)電流測(cè)試

• 高度同步、多針、多通道、少主機(jī)生產(chǎn)系統(tǒng)