其他賬號(hào)登錄: 注冊(cè) 登錄
150mm探針臺(tái)200mm探針臺(tái)300mm探針臺(tái)大功率探針臺(tái)硅光探針臺(tái)低溫探針臺(tái)探針與針座探針臺(tái)功率放大器場強(qiáng)測量電波暗室混響室OTA測試暗室橫電磁波室GJB151A/B標(biāo)準(zhǔn)測試RTCA DO-160G標(biāo)準(zhǔn)測試電磁兼容民用設(shè)備測試系統(tǒng)電磁兼容測試失效分析測試設(shè)備半導(dǎo)體封裝設(shè)備信號(hào)源頻譜分析儀/信號(hào)分析儀矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀功率探頭&功率計(jì)示波器阻抗調(diào)諧器電源直流測試誤碼儀采樣示波器光源光開關(guān)光濾波器光衰減器光功率計(jì)光譜儀光波元器件分析儀時(shí)鐘恢復(fù)(CDR)光波長計(jì)OTDR光芯片測試系統(tǒng)測試儀器儀表Maury Microwave射頻微波測試附件國產(chǎn)射頻微波測試附件電磁兼容測試附件FormFactor/Cascade探針臺(tái)測試附件測試附件THz在片測試系統(tǒng)WAT測試系統(tǒng)高壓在片測試系統(tǒng)光電在片測試系統(tǒng)硅光在片測試系統(tǒng)射頻在片測試系統(tǒng)失效分析在片測試系統(tǒng)在片負(fù)載牽引測試系統(tǒng)直流在片測試系統(tǒng)自動(dòng)測試軟件晶圓在片測試系統(tǒng)AM3200系列Pulsed IV測試系統(tǒng)MT1000/MT2000 系列有源負(fù)載牽引測試系統(tǒng)電源自動(dòng)測試系統(tǒng)多通道超寬帶信號(hào)生成和測試解決方案數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)設(shè)備微波射頻前端半實(shí)物協(xié)同仿真平臺(tái)無源-有源混合負(fù)載牽引測試系統(tǒng)射頻微波測試系統(tǒng)和解決方案電波暗室GTEM橫電磁波室混響室OTA測試暗室汽車整車及零部件EMC測試系統(tǒng)電磁兼容民用設(shè)備測試系統(tǒng)電磁兼容測試系統(tǒng)和解決方案維修租賃現(xiàn)貨代測行業(yè)資訊社會(huì)新聞公司簡介聯(lián)系我們招賢納士

UF2000全自動(dòng)探針臺(tái)

UF2000全自動(dòng)探針臺(tái)
產(chǎn)品詳情


產(chǎn)品簡介

UF2000全自動(dòng)探針臺(tái)支持最大200mm晶圓的測試,系統(tǒng)采用高精度、高剛性機(jī)床,穩(wěn)定性與精度相比前代產(chǎn)品有巨大提升   

UF2000全自動(dòng)探針臺(tái)采用了高剛性和高速操作技術(shù),提高了精度和產(chǎn)量。   

UF2000全自動(dòng)探針臺(tái)可選擇的配置選項(xiàng)多種多樣,可實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體行業(yè)不標(biāo)準(zhǔn)的各種晶圓測試。


產(chǎn)品特性

  • 測試環(huán)境覆蓋超高到低溫   

  • 用于測試頭的鉸鏈?zhǔn)綑C(jī)械手   

  • 利用特殊的轉(zhuǎn)移機(jī)制進(jìn)行翹曲及超薄晶圓的轉(zhuǎn)移   

  • FFU實(shí)現(xiàn)清潔的測試環(huán)境   

  • 低噪聲測試環(huán)境   

  • 高壓測試環(huán)境   

  • 針跡檢查功能


產(chǎn)品應(yīng)用

晶圓級(jí)電性能測試

晶圓允收測試


規(guī)格參數(shù)

晶圓尺寸

5英寸,6英寸和8英寸

可測試die尺寸

0.25 - 100 mm (間距0.1 μm)

10 - 3900 mil(間距0.01 mil)

總體精度

4μm

X/Y軸行程

±120 mm

X/Y軸最大速度

300 mm/s

Z軸總行程

69 mm

Z軸測試行程

0.5 mm

Z軸最大速度

30 mm/s

Z軸分辨率

0.25 μm

Theta軸調(diào)節(jié)范圍

±

Theta軸精度

0.00024°(直徑200mm晶圓邊緣處約0.4μm)