Thermo Scientific OptiFIB Taipan 系統(tǒng)是一款強大的聚焦離子束電路編輯系統(tǒng)，專注于優(yōu)化10nm工藝節(jié)點。其具有最高的成像分辨率和切割精度、最高的離子束定位精度、低系統(tǒng)漂移，因而具備更高的成功率和生產率。OptiFIB Taipan 系統(tǒng)還具有獨特的以電路編輯為核心的化學反應和軟件自動化，以進一步提升使用性。

電路編輯技術提供了納米加工能力，可以在集成電路制造過程的各個點對微小的設計修正，為開發(fā)人員創(chuàng)建少量功能芯片，并解決可靠性問題。

產品特性

超高的FIB分辨率成像和低電流離子束銑削
Super-SED具有更高的信噪比和端點靈敏度
獨特的同軸離子-光子束流柱
先進的氣體輸送系統(tǒng)
先進的支持行業(yè)經驗證的PIAscan引擎

產品應用

失效分析

微組裝

規(guī)格參數

FIB Column	Ion-Photon Coaxial Taipan column forbackside and frontside circuit edits
FIB image resolution	2.7 nm @250 fA and 30 kV (Thermo Scientific graphite sample)
Acceleration voltage	0.5–30 kV
Beam current	250 fA–20 nA
Stage travel (X,Y,Z)	75 mm x 75 mm x 20 mm
Beam stability/driftcontrol	4 nm/min
Conductor resistivity	≤ 200 μΩ?cm
Insulator resistivity	≥ 1E15 μΩ?cm