電路編輯可以讓產(chǎn)品設(shè)計師在數(shù)小時內(nèi)更改導電通道和測試修改后的電路，而不是需要幾周或幾個月來生成新的掩模和加工新的晶圓。更少、更短的修改和測試周期允許制造商加速新工藝，以更快地獲得高產(chǎn)量的利潤，并率先推出定價更高的新產(chǎn)品。 V400ACE是專門為滿足先進設(shè)計和工藝的挑戰(zhàn)而設(shè)計的:更小的幾何尺寸、更高的電路密度、奇異的材料和復雜的互連結(jié)構(gòu)。

產(chǎn)品特性

快速，精確的電路修改
納米化學氣體輸送系統(tǒng)
同時繪制SE和樣品電流圖，提高了端點檢測能力
快速、準確的橫截面顯示缺陷
可選的背面編輯能力與近紅外顯微鏡

產(chǎn)品應用

失效分析

微組裝

規(guī)格參數(shù)

Ion Column	Tomahawk, Ga liquid metal 1000 hour lifetime
Acc. Voltage	0.5 kV – 30 kV
Beam Current	1.1 pA – 65 nA
Image Resolution	4.5nm
Stage	5-axes motorized eucentric X, Y motion 100 mm Tilt -10° to 60° Rotation 360°
End Point Detect	Simultaneous SE/specimen current auto scaled plots
Key options	Charge Neutralizer (electron flood gun) Bulk Si Trenching IR Microscope Electrical Feedthroughs