新的 Thermo Scientific Apreo 2 SEM 經(jīng)擴展可訪問高性能成像以及針對所有級別顯微鏡專業(yè)知識的分析。憑借 Thermo Scientific ColorSEM 技術，一種獨特的實時元素成像功能，可以通過最直觀的界面隨時獲得組分信息。ColorSEM 技術消除了與典型 EDS 實施相關的所有麻煩，為您提供前所未有的結果時間和易用性。

憑借 Thermo Scientific SmartAlign 技術（一種光學系統(tǒng)、可以自己對齊），Apreo 2 SEM 對用戶和實驗室管理人員提出了更小的要求。此外，Apreo 2 SEM 采用 Thermo Scientific FLASH 技術，可實現(xiàn)圖像微調(diào)過程的自動化。FLASH 技術對鏡頭居中、消像散器和圖像的最終焦點執(zhí)行任何必要的校正。這些技術的組合意味著電子顯微鏡的新用戶可以獲得 Apreo 2 SEM 的高端性能。此外、Apreo 2 SEM 是唯一一款在 10 mm 分析工作距離具備 1 納米分辨率的 SEM。

產(chǎn)品特性

范圍廣泛的樣品類型
實時定量 EDS
長工作距離
SmartAlign 技術

產(chǎn)品應用

半導體失效分析

規(guī)格參數(shù)

	Apreo 2S	Apreo 2C
分辨率	在 1 kV 下 0.9 nm 在 1 kV 下 0.8 nm（光束減速）在 1 kV 下 1.0 nm、工作距離為 10 mm （光束減速）在 500 kV 下 0.8 nm（光束減速）在 200 kV 下 1.2 nm（光束減速）	在 1 kV 下 1.2 nm 在 1 kV 下 1.0 nm（光束減速）在 500 kV 下 1.2 nm（光束減速）
標準檢測器	ETD、T1、T2、T3、IR-CCD、Nav-Cam+	ETD、T1、T2、IR-CCD、Nav-Cam+
可選檢測器	DBS、LVD、DBS-GAD、STEM 3+、RGB CLD、EDS、EBSD、WDS、拉曼、EBIC 等。
著陸能量范圍	20 eV – 30 keV
載物臺偏倚（光束減速）	-4000 V 至 +600 V 標準（每個系統(tǒng)）
低真空模式	可選：10 – 500 Pa 腔室壓力
載物臺	5-軸電動共心載物臺，110 x 110 mm2，105° 傾斜范圍。最大樣品重量：未傾斜位置，5 kg。
最大射束電流	50 nA（也可配置為 400 nA）
腔室	340 mm 內(nèi)寬，12 個端口，最多三個同步 EDS 檢測器（兩個在 180° 處）、共面 EDS/EBSD 與載物臺的傾斜軸正交