Metrios DX TEM掃描/透射電子顯微鏡

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Metrios DX是一款80-200kV掃描/透射電子顯微鏡，可提供基于TEM和S/TEM的可重復(fù)成像、分析和測(cè)量的計(jì)量結(jié)果，具有前所未有的吞吐量水平。

Thermo Scientific Metrios DX TEM結(jié)合了經(jīng)過驗(yàn)證的技術(shù)和創(chuàng)新的新功能，是半導(dǎo)體和存儲(chǔ)環(huán)境的首選平臺(tái)，應(yīng)對(duì)越來越復(fù)雜的結(jié)構(gòu)和收縮的幾何形狀，具備更大尺寸的精確測(cè)量能力。

除了新的硬件，Metrios DX TEM還配備了新的軟件功能，以改善數(shù)據(jù)傳輸速度。靈活的圖像采集(FIT+)可以在任何類型的結(jié)構(gòu)上實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，不需要任何測(cè)試程序修改。用戶可以在多個(gè)樣品上定義感興趣的TEM、S/TEM和EDS采集區(qū)域，F(xiàn)IT+將自動(dòng)獲取數(shù)據(jù)。同時(shí)Metrios DX TEM收集數(shù)據(jù)并上傳到Image Viewer數(shù)據(jù)庫。Metrios DX TEM的設(shè)計(jì)具有前所未有的易用性，是經(jīng)驗(yàn)豐富的顯微鏡專家和新用戶的理想選擇。靈活的用戶界面允許全自動(dòng)化計(jì)量和采集、半自動(dòng)化操作或手動(dòng)數(shù)據(jù)采集。自動(dòng)圖像采集與自動(dòng)計(jì)量相結(jié)合，極大地提高了數(shù)據(jù)精度。

產(chǎn)品特性

• 超穩(wěn)定、高亮度肖特基場(chǎng)發(fā)射槍(X-FEG)，確保高亮度和高發(fā)射電流   

• 對(duì)稱物鏡，有5.6毫米寬的極片間隙

• Thermo Scientific Constant Power Lens，模式切換的熱穩(wěn)定性更高

• 全數(shù)字系統(tǒng)，智能攝像頭

• 計(jì)算機(jī)化的5軸樣品壓電平臺(tái)，精確存儲(chǔ)樣品位置

產(chǎn)品應(yīng)用

半導(dǎo)體失效分析

規(guī)格參數(shù)