Triax –低噪聲測量,低至fA級別
立體顯微鏡:15x–100x放大倍率,具有大視野和可用于照相機的C型卡口
四個三軸探頭臂和高質(zhì)量的三軸電纜
光/EMI 屏蔽(任選)
用于 fF 級別測量的升級選項
TRIAX卡盤具有±8的theta卡盤精細(xì)旋轉(zhuǎn),三個輔助區(qū)域,卡盤表面具有±5μm的平面度,以實現(xiàn)一致的接觸力和超行程
利用單一設(shè)置可完成東/西至北/南測量
產(chǎn)品手冊 下載