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Cascade EPS150Triax 6英寸手動探針臺

Cascade EPS150Triax 6英寸手動探針臺
產(chǎn)品詳情
MPS150 - 150 mm Probe Station - Configuration Example:TRIAX

Triax –低噪聲測量,低至fA級別

  • 立體顯微鏡:15x–100x放大倍率,具有大視野和可用于照相機的C型卡口

  • 四個三軸探頭臂和高質(zhì)量的三軸電纜

  • 光/EMI 屏蔽(任選)

  • 用于 fF 級別測量的升級選項

  • TRIAX卡盤具有±8的theta卡盤精細(xì)旋轉(zhuǎn),三個輔助區(qū)域,卡盤表面具有±5μm的平面度,以實現(xiàn)一致的接觸力和超行程

  • 利用單一設(shè)置可完成東/西至北/南測量

產(chǎn)品手冊 下載