校準(zhǔn)片

型號(hào)

外觀

主要特性

標(biāo)準(zhǔn)阻抗校準(zhǔn)片

• 用于 ACP、Infinity 和 FPC 探針

• 確保在矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的晶圓上校準(zhǔn)中獲得更高的準(zhǔn)確度和更好的重復(fù)精度

• 提供了經(jīng)驗(yàn)證的 LRRM 校準(zhǔn)準(zhǔn)確度

• 具有自動(dòng)負(fù)載電感補(bǔ)償功能

CSR 校準(zhǔn)片

• 與|Z|探針完美匹配

• 所有的 CSR 校準(zhǔn)片都在校準(zhǔn)片本身之上包括 Open 標(biāo)準(zhǔn)，因而與為了 Open 而簡(jiǎn)單地抬高探針相比，提供了一種更加準(zhǔn)確的校準(zhǔn)。由于我們的探針系統(tǒng)在激光修整工藝中使用，所以對(duì)于所有的負(fù)載 (Load) 標(biāo)準(zhǔn)，典型準(zhǔn)確度皆優(yōu)于 0.1%。而且，在 10 K 至 430 K 的溫度范圍內(nèi)，Load 標(biāo)準(zhǔn)的電阻保持穩(wěn)定在理想值 (50 ?) 的 0.3% 以內(nèi)

多線TRL校準(zhǔn)片

• 毫米波和亞毫米波校準(zhǔn)片

• 專(zhuān)為 T-Wave? 探針而優(yōu)化

• 多線 TRL 校準(zhǔn)襯底提供了 CPW 標(biāo)準(zhǔn)，包括反射（短路）、thru 和兩線

• 襯底材料：高阻性硅

• 襯底厚度：275 μm

• 介電常數(shù)：11.8

• 標(biāo)稱(chēng) Z0：50 Ω

Pyramid校準(zhǔn)片

• 匹配 DUT 布局的能力改善了 RF 校準(zhǔn)，可實(shí)現(xiàn)更好的良率

• 探針卡中位點(diǎn)之間偏移的減小免除了建立關(guān)聯(lián)的需要

• 對(duì)于多 DUT 校準(zhǔn)，通過(guò)在多個(gè)標(biāo)準(zhǔn)上的單次觸壓減少了校準(zhǔn)時(shí)間

• 探針、校準(zhǔn)片和校準(zhǔn)系數(shù)在單個(gè)方框中（每個(gè)thru的延時(shí)、C_OPEN，L_LOAD和L_SHORT）