產品簡介
射頻發(fā)生器是產生等離子體的能量來源。它將標準的50/60Hz交流線路電源轉換為13.56MHz射頻信號。并加到密閉腔室內的一組電極上，將腔室中的一些氣體分子電離為化學反應原子、離子和自由基組成的低溫等離子體。
射頻發(fā)生器具有內置的安全功能，以保護功率晶體管免受過度反射功率的影響，并調節(jié)輸出功率。
等離子體可以用于加工材料的表面以進行清潔、蝕刻、剝離和/或活化。
射頻發(fā)生器包含反射功率和散熱器溫度控制程序。在打開射頻電源之前，控制程序確保腔室中的壓力在可接受的范圍內。這可防止對匹配網絡造成損壞。
產品特性
可用氣體
鋁制或陶瓷腔室：空氣，氬氣，氧氣，一氧化二氮，四氟化碳，氦氣
玻璃腔室：空氣，氬氣，氧氣，一氧化二氮，四氟化碳
質量流量控制計 最多至6路氣體
工藝壓力 200-2000 mTorr(取決于真空泵和氣體流量)
抽真空時間 大約1分鐘 (取決于真空泵)
射頻電源 風冷13.56MHz,600 瓦(標準配置)
供給需求電源 220V 單相, 50Hz
工藝氣體 輸入壓力 1-2 bar
吹掃氣體 輸入壓力 1-2 bar
壓縮空氣 輸入壓力 4-6 bar
產品應用
有機、金屬和復合基底的表面改性和清洗
