干貨分享|如何使用示波器檢驗ESD仿真器？

靜電放電(ESD)抗擾度測試

這些標準還規(guī)定了必須注入被測設備(EUT)中的電流脈沖的形狀和定時。在運行抗擾度測試前，必須檢驗ESD仿真器生成的電流脈沖擁有正確的形狀和上升時間。可以使用校準后的ESD靶和高帶寬示波器，檢驗仿真器的性能。泰克4/5/6系MSOs為這種檢驗測量提供了理想的選擇。

人體接觸配電箱或電纜時產(chǎn)生的ESD，可能會損壞電子系統(tǒng)中的電路。在人的手指靠近金屬物體時，普通的人體ESD事件會在物體中產(chǎn)生高電流放電。得到的電流脈沖可能會達到幾安，有非常高的前沿，上升時間不到1 ns (圖1)。圖1顯示了理想化的ESD波形。

• 闡述怎樣在觸點放電測試和大氣放電測試中檢驗脈沖
  

• 旨在幫助設計人員在一致性測試或預一致性測試前檢驗ESD仿真器發(fā)出的電流脈沖的形狀

• 涵蓋部分ESD基本原理

• 描述采用示波器的ESD仿真器基本測試系統(tǒng)

本應用指南使用6系MSO示波器，演示ESD調(diào)試技術。同等配備的4系和5系MSO的設置和測量實際上一模一樣，因為它們的控制功能與6系MSO相同。本文描述的許多技術也可以用于擁有相應性能（特別是上升時間）的任何專業(yè)級示波器。

人體可以建模成一個簡單的串聯(lián)RC網(wǎng)絡(圖2)。在電荷形成時，電容器會充電到選定數(shù)字的kV。在按下開關(仿真器觸發(fā)器)時，這個電荷會迅速放電到EUT中。多家制造商提供的仿真器都能復現(xiàn)非常接近這個人體模型的電流波形。IEC 61000-4-2國際標準中規(guī)定了這些仿真器必須生成的波形。

圖2. RC網(wǎng)絡仿真來自人手指的ESD事件

IEC 61000-4-2要求在測試EUT前檢驗ESD仿真器的尖端電壓，另外要求檢驗得到的電流波形的多個特點，比如電流峰值、30 ns時的電流讀數(shù)和60 ns時的電流讀數(shù)。

可以使用電表或吉歐表測量仿真器的尖端電壓。但是，大多數(shù)人發(fā)現(xiàn)，對簡單的預一致性檢驗測試，可以使用高阻抗高壓電阻電壓分路器(100 MΩ串聯(lián)1 MΩ)和數(shù)字電壓表。電阻器一定要能夠耐受最高25 kV電壓。

IEC和ANSI標準對測量可重復性的要求要比對上升時間的要求更嚴格。為捕獲ESD，必須把示波器設置成單次(“single-shot”)模式。如果示波器對重復的上升時間測量返回了一串不同的答案，那么就不能依靠它準確地測量任何一種情況的上升時間，即使多次測量的平均數(shù)異常準確。單次可重復性的一個主要因子是低內(nèi)部噪聲，因此在評估示波器進行ESD測試時要比較噪聲指標。這些實例中使用的6系MSO產(chǎn)生的噪聲特別低，特別適合這些測試。

使用并聯(lián)

為校驗ESD仿真器的輸出，必須測量產(chǎn)生的電流流經(jīng)連接接地的低阻抗高頻電阻并聯(lián)時的波形。這個并聯(lián)或ESD靶仿真進入大的金屬物體中的放電，比如設備箱(圖3)。

圖3. 兩種樣式的ESD靶：老式靶(左)和新式靶(右)。新式靶的帶寬較高(4 GHz)，未來版本的IEC 61000-4-2可能會規(guī)定使用新式靶

IEC和ANSI標準目前規(guī)定并聯(lián)阻抗<2.1 Ω，但將來修訂版標準中會變。為了幫助工程師更加準確地檢驗ESD仿真器性能，草議標準現(xiàn)在規(guī)定了帶寬更低、阻抗更低的校準后的(新式) ESD靶。

新靶的阻抗約為1 Ω。目前IEC和ANSI標準規(guī)定使用1 GHz帶寬的靶。草議標準規(guī)定使用4 GHz帶寬的靶。在設置測試時，必須把靶安裝在1.2平方米地面的中心。ANSI C63.16靶指標包括4 GHz以下時反射系數(shù)<0.1 (相當于VSWR<1.22)，插損<0.3 dB。這些靶可以在商業(yè)市場上購買。

為完成測試設置，需要電纜、衰減器和示波器。使用優(yōu)質(zhì)低損耗電纜連接靶、衰減器和示波器。電纜總長要保持在1米以內(nèi)，這樣才能滿足IEC和ANSI標準。ANSI C63.16要求雙屏蔽電纜，防止信號泄漏影響測量。它還推薦RG-400/U電纜，而RG-214/U盡管是兩倍直徑，但損耗只有一半，似乎效果更好。還可以使用任何GHz帶寬的同軸電纜。

IEC 61000-4-2還規(guī)定把示波器放在法拉第籠中，屏蔽示波器受到ESD引發(fā)的放射輻射。在標準開發(fā)過程中(20世紀90年代初)，許多工程師使用模擬熒光存儲示波器進行這些測量。標準之所以規(guī)定使用屏蔽層，是為了防止模擬示波器上顯示的波形失真。屏蔽層也最大限度地減少了放電放射場引起的假觸發(fā)數(shù)量。

目前，大多數(shù)高速數(shù)字示波器，包括泰克4/5/6系MSOs，都擁有屏蔽精良的輸入電路，因此實踐中通常不要求法拉第籠。只需把ESD靶安裝在1.2平方米鋁片上，通常就能防止數(shù)字示波器中不想要的觸發(fā)。

測試設置方框圖如圖4所示。需要使用衰減器，保護示波器的輸入前置放大器，因為ESD靶可能會產(chǎn)生>50 V的電壓。20 dB衰減器很方便，因為它表示10×衰減，把測得電壓乘10，就可以得到經(jīng)過并聯(lián)的實際電壓，然后計算出得到的電流。衰減器必須能夠處理最高50 V尖峰，衰減器的帶寬必須準確地通過最高4 GHz頻率。

選擇示波器

在選擇示波器時，要特別注意儀器的帶寬、上升時間和噪聲。為了準確地測量信號，且沒有采樣誤差，示波器必須有充足的帶寬。對高斯響應示波器，采樣率可能要達到示波器帶寬的6倍，當然更典型的情況是帶寬的4倍。

在使用數(shù)字示波器時，還必須注意采樣率。數(shù)字示波器在可用帶寬上的響應比較平坦，在超過3 dB頻率時滾降率很陡。因此，采樣率要達到示波器帶寬的2.5倍，以避免假信號誤差。

示波器要想準確地顯示ESD脈沖的上升時間，必須有充足的帶寬和上升時間。確定示波器指標是否足夠的規(guī)則，會因模擬示波器和數(shù)字示波器而不同。

大多數(shù)數(shù)字示波器的頻響比較平坦，與模擬示波器相比，在-3 dB點以下的頻率上生成的衰減較少。因此，數(shù)字示波器的測量精度要更高。其次，數(shù)字示波器的滾降率較陡，有助于降低假信號誤差。

一般來說，人體ESD脈沖的上升時間要小于200 ps。為準確顯示這種脈沖，要求的帶寬約為0.43/(200 ps)，或者2.15 GHz。某些ESD仿真器可能會生成50 ps的上升時間，因此要求8.6 GHz的示波器帶寬。

表1. 系統(tǒng)精度變化會引起的測量誤差百分比

靶-衰減器-電纜鏈條會產(chǎn)生一定的信號幅度損耗。不同測試設置之間的損耗變化，DC ~ 1 GHz時必須在±0.3 dB，1 GHz ~ 4 GHz時必須在±0.8 dB。表1顯示了<1 dB的系統(tǒng)精度變化會大大影響測量精度。